2019-2024
SENSiSOFT
New sensor devices based on soft chemistry assisted nanostructured functional oxides on Si integrate
Responsable :
Axe(s) de recherche :
Financé par :
Projets de recherche
SENSIR-MUSE
Breath diagnosis SENSor based on IR photoacoustic spectroscopy
Partenaires :
Financé par :
EPITAQSi
Épitaxie de quartz-α sur silicium assistée par la chimie douce : une plateforme pour des capteurs intégrés
