EPITAQSi
2023-2026

EPITAQSi

Épitaxie de quartz-α sur silicium assistée par la chimie douce : une plateforme pour des capteurs intégrés

Responsable :

Adrien CARRETERO-GENEVRIER, Ricardo GARCIA-BERMEJO

Axe(s) de recherche :

Sensors, Instrumentations, Materials, Materials

Financé par :

Centre National de la Recherche Scientifique, Université de Montpellier

Projets de recherche

µANEM
2019-2023

µANEM

Microanémomètre pour la mesure de turbulence proche paroi

Partenaires :

Office national d'études et de recherches aérospatiales

Financé par :

Région Occitanie, Office national d'études et de recherches aérospatiales
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SENSiSOFT
2019-2023

SENSiSOFT

New sensor devices based on soft chemistry assisted nanostructured functional oxides on Si integrate

Financé par :

Commission Européenne
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FETCH
2019-2022

FETCH

Financé par :

Agence Nationale de la Recherche
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Institut d'Electronique
et des Systèmes - UMR 5214

860, rue Saint Priest
Bâtiment 5 – CC 05/001
34095 Montpellier Cedex 5
France

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