M²N

Matériaux, Micro et Nanodispositifs

Summary

The Micro and Nano Systems research axis focuses on the study and integration of materials and microtechnologies for the realization of sensors and devices exploiting physical phenomena related in particular to piezoelectricity, optics and heat.

In general, the path followed by this axis consists in conducting fundamental and applied research from the material to the device in fields as diverse and multidisciplinary as life sciences, energy, defense or aeronautics. This includes theoretical studies and characterization of materials down to the nanometric scale, including microfluidic devices and sensors in harsh environments. The behavior of sensors and materials is modeled and simulated using multiphysics software. In addition, we also develop electronic instrumentation systems adapted to our systems.

3 main research themes are currently developed. They concern:

Chemistry, Nanomaterials and Nanotechnologies (CNN)
Biomicrofluidics and biophotonics, Micro and Nanosystems for experimental biophysics,
Micro sensors and micro devices based on thermal exchange for applications in severe environments.

Les thèmes de recherches

Nanomatériaux à base d’oxydes fonctionnels intégrés

Cette thématique axée sur la Chimie, les Nanomatériaux et les Nanotechnologies (CNN) a comme objectif principal l’intégration de différents matériaux actifs tels que les oxydes fonctionnels sur silicium et autres substrats technologiques pour la réalisation de capteurs et de dispositifs pour, par exemple, la récupération d’énergie.

Micro et Nanosystèmes pour la biophysique expérimentale

Cette thématique concerne le développement de microsystèmes biomicrofluidiques et biophotoniques appliqués à des problématiques de biologie cellulaire et notamment l’étude des effets des stimulations physiques sur le comportement collectif ou individuel des cellules.

Etude de microcapteurs et microdispositifs basés sur les échanges thermiques

Ce thème s’appuie sur le développement de matériaux actifs par différentes techniques de dépôt en couches minces et de microtechnologies associées pour la réalisation de micro capteurs et dispositifs basés sur les échanges thermiques.