M²N
Matériaux, Micro et Nanodispositifs
Introduction
L’axe de recherche Micro et Nano Systèmes porte sur l’étude et l’intégration de matériaux et microtechnologies pour la réalisation de capteurs et dispositifs exploitant les phénomènes physiques liés en particulier à la piézoélectricité, l’optique et la thermique.
De manière générale, la voie suivie par cet axe consiste à conduire des recherches fondamentales et appliquées allant du matériau au dispositif dans des domaines aussi divers et pluridisciplinaires que les sciences de la vie, l’énergie, la défense ou l’aéronautique. Cela passe par des études théoriques et la caractérisation des matériaux jusqu’à l’échelle nanométrique, en allant jusqu’à celles des dispositifs microfluidiques ou des capteurs en environnements sévères. Le comportement des capteurs et matériaux est modélisé et simulé grâce à des logiciels multiphysiques. De plus, nous développons également les systèmes électroniques d’instrumentation adaptés à nos systèmes.
Les travaux de l’équipe M²N sont déclinés en 3 sous thèmes.
Les thèmes de recherches
Nanomatériaux à base d’oxydes fonctionnels intégrés
Cette thématique axée sur la Chimie, les Nanomatériaux et les Nanotechnologies (CNN) a comme objectif principal l’intégration de différents matériaux actifs tels que les oxydes fonctionnels sur silicium et autres substrats technologiques pour la réalisation de capteurs et de dispositifs pour, par exemple, la récupération d’énergie.
Micro et Nanosystèmes pour la biophysique expérimentale
Cette thématique concerne le développement de microsystèmes biomicrofluidiques et biophotoniques appliqués à des problématiques de biologie cellulaire et notamment l’étude des effets des stimulations physiques sur le comportement collectif ou individuel des cellules.
Etude de microcapteurs et microdispositifs basés sur les échanges thermiques
Ce thème s’appuie sur le développement de matériaux actifs par différentes techniques de dépôt en couches minces et de microtechnologies associées pour la réalisation de micro capteurs et dispositifs basés sur les échanges thermiques.
Equipements spécifiques
Pour la fabrication
Pour la caractérisation
Compétences
- Expériences en microfluidique
- Electrophysiologie extracellulaire
- Piégeage de cellules uniques
- Etude et élaboration de microcapteurs basés sur les échanges thermiques
- Accéléromètre très haute étendue de mesure
- Elaboration en couches minces par PVD de matériaux thermorésistifs, thermoélectriques et pyroélectriques pour applications hautes températures
- Nanofabrication de particules piégées
- Microfabrication de circuits microfluidiques et de réseaux de microélectrodes
- Elaboration de MEMS/capteur avec point/pont/plateau chauffants
- Développement de bancs d’instrumentation pour la caractérisation des matériaux et des micro capteurs en environnements sévères
Partenaires
- LAAS Toulouse
- LIRMM Montpellier
- LMGC Montpellier
- CBS
- IGMM
- GIN
- IRIM
- Marseille Neurotech center
- Phymedexp
- IMS
- CBMN
- IBMM
- IGH
- Université de Tel Aviv
- Université d’Ottawa
- Université technique d’État de Moscou-Bauman
- Université Technologique de Berlin (Technische UniversitätBerlin)
- Ecole Technologique Supérieure de Montréal (ETS)
- Horiba Medical, NLC health
- ONERA Toulouse
- Institut de Recherche Franco Allemand de Saint Louis (ISL)
- Agence de l’Innovation de Défense (AID)
- CEA DAM Gramat
- Nexter Munition
- SAFRAN
- MBDA
- TEXYS
- ASYGN
- ARCYS