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M²N

Matériaux, Micro et Nanodispositifs

Introduction

L’axe de recherche Micro et Nano Systèmes porte sur l’étude et l’intégration de matériaux et microtechnologies pour la réalisation de capteurs et dispositifs exploitant les phénomènes physiques liés en particulier à la piézoélectricité, l’optique et la thermique.
De manière générale, la voie suivie par cet axe consiste à conduire des recherches fondamentales et appliquées allant du matériau au dispositif dans des domaines aussi divers et pluridisciplinaires que les sciences de la vie, l’énergie, la défense ou l’aéronautique. Cela passe par des études théoriques et la caractérisation des matériaux jusqu’à l’échelle nanométrique, en allant jusqu’à celles des dispositifs microfluidiques ou des capteurs en environnements sévères. Le comportement des capteurs et matériaux est modélisé et simulé grâce à des logiciels multiphysiques. De plus, nous développons également les systèmes électroniques d’instrumentation adaptés à nos systèmes.

Les travaux de l’équipe M²N sont déclinés en 3 sous thèmes.

Les thèmes de recherches

Nanomatériaux à base d’oxydes fonctionnels intégrés

Cette thématique axée sur la Chimie, les Nanomatériaux et les Nanotechnologies (CNN) a comme objectif principal l’intégration de différents matériaux actifs tels que les oxydes fonctionnels sur silicium et autres substrats technologiques pour la réalisation de capteurs et de dispositifs pour, par exemple, la récupération d’énergie.

Micro et Nanosystèmes pour la biophysique expérimentale

Cette thématique concerne le développement de microsystèmes biomicrofluidiques et biophotoniques appliqués à des problématiques de biologie cellulaire et notamment l’étude des effets des stimulations physiques sur le comportement collectif ou individuel des cellules.

Etude de microcapteurs et microdispositifs basés sur les échanges thermiques

Ce thème s’appuie sur le développement de matériaux actifs par différentes techniques de dépôt en couches minces et de microtechnologies associées pour la réalisation de micro capteurs et dispositifs basés sur les échanges thermiques.